GK6030-BDT半導體工藝氣體檢測系統，GK6030-BDT型號是一種可移動、可獨立的采樣系統，采用分析柜式結構，結合用戶現場實際工況,采用樣氣抽取分析式流程設計。主要由三部份組成，氫燃料電池檢測模組,進口檢測模組,出口檢測模組，全程高溫伴熱191攝氏度方式。采用西門子PLC控制，組態界面操作，具備自動進樣，連續運行、間歇運行、控制聯鎖諸功能。加上配置了智能化分析儀表，具有自動化程度高，數據處理快速準確。測量精度高，響應時間快，其測量后的氣體濃度信號可在計算機組態界面監控。主要用于半導體工藝用電子特氣的質量評價，半導體工藝廢氣、氫燃料電池燃燒氣、煙氣和發動機尾氣等成分的定性分析和定量研究，也可用于半導體工藝廢氣處理設備分解移除效率的評價和研究

GK6030-BDT半導體工藝氣體檢測系統特點：

●1秒1次分析，準確記錄瞬時數據

●樣氣處理系統---對分析樣氣的凈化、干燥、流量控制等處理，確保分析儀器的使用壽命及分析精度。

●多重過濾---可靠的分離氣體中所含的雜質,尤其是極細的固體顆粒。過濾器芯的使用情況可通過日常維護檢查，且更換濾芯方便。

●實時數據監控，易于操作

應用實例

•半導體工藝用電子特氣的質量評價測量

•與安全相關領域的測量

•作為法定煙氣排放量參考變量的測量

•氫燃料電池燃燒氣成分定性分析

•燃燒廠中煙氣排放量的定性分析

•半導體工藝廢氣氣濃度的定量研究

主要參數

•系統過濾精度：≤0.1um

•系統響應時間：T90≤2-3秒（取樣管定長為5m）

•范圍濃度從10ppb到100

•光譜范圍6000~500 cm-1

•光譜分辨率0.5-128cm-1

•掃描速度在0.5cm-1分辨率下可達1次/秒

•掃描頻率1HZ

•儀器測量精度2%讀數

•采樣溫度樣品池控溫范圍：室溫~200℃可控

•檢測器液氮冷卻MCT

•氣體池參數容積200ML,光程5.11米

•系統數據輸出協議：MODUBUS RTU

•系統電源電壓：220VAC

•采樣流速范圍：（0.2~10）L/min

•采樣壓力范圍：（0.01~4）bar

•測試范圍：濃度從ppb到100級別的復雜氣體成分

•校準方法：無需標準氣體校準，儀器具備自我診斷功能，直接進樣測出各種氣

體組分測量線性范圍，不少于300種氣體組分測量模型，可同時分析30種以上氣體組分

•擴展檢測組分：軟件提供濃度范圍擴展，氣體種類擴展功能，可提供不少于300種氣體檢測能力

•可測試水分含量可達到40%的混合氣

•數據處理系統：電腦及打印機1套，2K觸控全面屏，16G內存，1T硬盤，14英寸顯示器，雙面激光打印機一臺

•高溫預處理系統：包含高溫泵、過濾器系統、觸摸屏、PLC控制軟件、控制軟件系統、相關管閥件和流量計

•配套全流程一體化高溫加熱管線

•故障報警：系統部分故障自診斷功能

•分析柜尺寸：H×D×W（mm）1850×900×600

•分析柜重量：約150kg